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    日本takano 晶圓視覺檢測設備Vi系列的產品介紹

    更新時間:2024-08-08      瀏覽次數:424

    日本takano 晶圓視覺檢測設備Vi系列

    我們高速、高精度地檢查晶圓布線圖案、裂紋、異物污染等產品外觀。

    ●產品信息

    Vi系列規格

            Vi-4207R、C               Vi-4307M,C               Vi-5301M  

    晶圓尺寸         ~200毫米          ~300毫米                   ~300毫米

    處理                 機器人                          機器人                         機器人

    裝載機     打開盒式磁帶                開放式盒式磁帶、FOUP、FOSB

    缺陷尺寸(μm)             1.2/ 2.4/5.0(物鏡10x/5x/2.5x)     

    尺寸         W2280xD1140xH2060    W2280xD1140xH2060  寬2600x深1440x高1790

    重量                 1650公斤                    1700公斤                2800公斤

    應用    CMOS圖像傳感器、功率器件、RF濾波器、MEMS、玻璃、TAIKO晶圓

    1. 缺陷示例


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    2、按區域(層)分類精細檢測

    ●區域分類根據器件圖案的特征實現多種檢測靈敏度和容差。

    ●每個區域都可以有檢查參數。


    3.通過各種照明和彩色圖像來精細化圖像

    ●灰度檢測無法檢測到的缺陷可以通過彩色檢測來檢測。

    ●各種光的組合使看不見的缺陷變得可見。



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