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    產(chǎn)品分類
          
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    技術(shù)文章/ article
    
        
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    日本takano 晶圓表面檢測設(shè)備WM系列的產(chǎn)品介紹
    
            
    更新時間：2024-08-08      瀏覽次數(shù)：377
    
            
    
            	 
    WM系列規(guī)格
    01.jpg

    001.png



    1.png
    無圖案300mm晶圓表面檢測系統(tǒng)
    WM-10R是300mm晶圓的標準型號
    是48nm的高靈敏度檢測系統(tǒng)。
    WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.




    002.png


    2.png200mm以下無圖案晶圓表面檢測系統(tǒng)

    WM-7系列是200毫米晶圓尺寸以下最的合理的高性能型號。
    WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.





    1. 獨的創(chuàng)高靈敏度光學系統(tǒng)
    • WM-10R 有 2 軸粒子入射角。
    • WM 系列有 2 個寬數(shù)值孔徑鏡頭，用于高靈敏度檢測。
    2. 高分辨率 XY 位置螺旋掃描
    • WM系列是帶轉(zhuǎn)速控制的螺旋掃描方式。
    • XY-數(shù)據(jù)發(fā)送到 EB 審查設(shè)備，然后可以通過輕松對齊進行審查。

    
            
    
         	
                                            
        
    
      
      
    
    
  
    

    

 



    
  
    
    
    
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