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    技術(shù)文章/ article

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    帶潛水傳感器的兆聲波系統(tǒng),清潔實(shí)例

    更新時(shí)間:2024-01-04      瀏覽次數(shù):365

    清潔實(shí)例

    德國(guó)sonosys

    最佳清潔效果 - 帶潛水傳感器的兆聲波系統(tǒng)

    與卡爾斯魯厄研究中心 (IMT) 合作,為位于 Rüschlikon 的 IBM 公司檢查了硅微機(jī)械結(jié)構(gòu)的

    兆聲波清洗。這些芯片厚 500 µm,長(zhǎng) 3 mm,其正面有一個(gè)厚 5 µm、長(zhǎng) 300 µm 的獨(dú)立硅

    懸臂梁。尖頭垂直集成在硅懸臂上(用于掃描探針顯微鏡中的應(yīng)用)。檢查的目的是去除表

    面的抗蝕劑殘留物,而不損壞極其脆弱的硅梁或尖的端。

     

    清洗前的激光結(jié)構(gòu)化薄膜

    使用兆聲波能量清潔后的激光結(jié)構(gòu)化薄膜

     

    Kapton 薄膜上覆蓋有約 1 層主涂層。1 µm 厚,通過激光進(jìn)行結(jié)構(gòu)化。左圖所示的燒蝕殘留

    物需要去除。清潔是在室溫下在含有潤(rùn)濕劑的軟化水中以 10 W/cm2 的強(qiáng)度進(jìn)行的。
    可以去除燒蝕而不會(huì)對(duì)結(jié)構(gòu)或底涂層造成任何損壞。

    Megasonic 支持清洗前的硅懸臂芯片

    兆聲波支持清洗后的硅懸臂芯片


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