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    技術文章/ article
    
        
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    SHASHINA KAGAKU日本寫真化學 緊湊型膜厚監控儀
    
            
    更新時間：2023-12-08      瀏覽次數：352
    
            
    
            	 
    緊湊型膜厚監控儀是一種反射分光光度計，使用小型反射探頭，適用于從
    實驗室水平到生產過程中在線100%檢測的所有情況。它具有出色的可維
    護性，可用于過程設備和生產線管理。
    最多可同時測量9種類型的透明薄膜。
    它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點監控器。
    緊湊型探針可以安裝在加工工具內部的小空間中。還可以通過使用EMA理
    論來判斷混合層的混合比或多晶硅的結晶度。
    2023-12-08_142227.png
    緊湊型光纖探頭
    可以安裝在加工工具內部的小空間中
    膜厚測量0.1nm (3o) 的重復性好
    可測量多達9層的多層膜厚度
    使用旋涂機檢測終點的視頻
    可選擇光源
    光源
    白光LED
    鎢合金
    Deuterlum鹵素
    波長范圍(nm)
    430-700
    400-900
    220900
    無線 (選項)
    包含膜厚終點檢測軟件
    靶厚度范圍 (nm)典型使用壽命 (小時)
    50--50,000
    50--50,000
    10--30,000
    >50.000
    10,000
    1,000
    電影1:終端監視器的演示1
    電影2:終端監視器的演示2
    材料分析功能
    用EMA評價復合材料的混合比
    自動映射階段 (選件)
    結晶度與光學常數分析

    
            
    
         	
                                            
        
    
      
      
    
    
  
    

    

 



    
  
    
    
    
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