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    技術文章/ article
    
        
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    ADTEC Plasma Technology高周波射頻電源TXR、AX系列的產品介紹
    
            
    更新時間：2024-05-21      瀏覽次數：279
    
            
    
            	 
    ADTEC Plasma Technology 產品
    高周波射頻電源
    • image.png
    • 設計可承受高反射高耐用的具有高信賴度的產品
    • 提供降低成本的產品
    • 安裝了最新的CPU
      （高速響應性能UP）
    • 支持新的通訊方式
      （可對應EtherCAT）

    自動匹配阻抗設備
    • image.png
    • 可實現高速自動整合
    • 監視史密斯圓圖上的腔室阻抗
    • 使用專用軟件實時顯示，
      行波，反射波電力功率等
    IDX產品
    直流電源
    • image.png
    • 可在一臺電源上實現多種輸出模式
      可實現可變Duty的雙極輸出
      可實現直流及直流脈沖方式輸出
    • 搭載高速電弧遮斷功能

    微波電源
    • image.png
    • 應用于等離子處理設備
    • 不受高電壓及振動部產生的散熱影響，并且設置環境也適合廣大范圍　


    • TXR，TXL，TXM，TXH系列
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      AX系列
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      • 可承受高反射的AB類線性AMP
        高可靠性和高耐用性設計
      • 對應300W～30kW
      • 安裝了最新的CPU
        （高速響應性能UP）
      • 支持新的通訊方式
        （可對應EtherCAT）
      • 300W～對應


    
            
    
         	
                                            
        
    
      
      
    
    
  
    

    

 



    
  
    
    
    
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