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    英國 Michell Pura 高純氣體露點變送器高純氣半導體制造等應用

    更新時間:2024-04-18      瀏覽次數:353

    英國 Michell Pura 高純氣體露點變送器高純氣半導體制造等應用

    露點變送器 - Michell Pura

    高純氣體露點變送器

    特點

    測量范圍低可達 -120°Cdp (1ppbV)

    穩定而可重復的測量

    模擬和數字輸出

    安裝簡單

    VCR 過程連接

    可選的顯示/報警單元

    設計緊湊

    快速響應

    可選危險區域認證

    校準更換服務


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    這款小巧的變送器擁有堅固而獨立的傳感器,用來測量高純氣體中的微量水分含量。

    Pura使用和安裝簡單,可選兩線制、三線制和危險區域的型號,是一款完的全可自定義的產品,可以滿足各種特殊需求。

    規格

    傳感器

     

    傳感器類型

    密析爾先進的金屬氧化物陶瓷濕度傳感器

    量程

    -120 - -40°Cdp (校準范圍 -100 - -40°C)

    精度

    ±1°C -40 ~ -60°Cdp
    ±2°C -60 ~ -100°Cdp
    ±4°C -100 ~ -120°Cdp (估計)

    工作壓力

    最小 10-7 Pa (10-9 torr)
    最大 24 MPa (240 barg)

    工作溫度

    -40 ~ +60°C

    流量速率

    1 ~ 5 Nl/min

    電氣

     

    電源

    標稱電壓 24 V DC, 10-28 V DC 最大電流 25 mA 2或3線制配置

    輸出

    PUR-TX-2W: 4 ~ 20mA 2線制
    PUR-TX-3W: 4~ 20mA 3線制
    PUR-AOL-SEN : 數字 (RS485)

    顯示電纜

    PUR-OL & PUR-IS-OL: 2m (標準) / 5 or 10m (可選)
    PUR-AOL: 2m (標準) / 5 or 10m (可選)

    機械l

     

    傳感器模塊

    高級版 OEM 版: 冷拔不銹鋼, 0.1 - 0.2 Ra µm 內部電拋光

    壓力連接

    高級版和 OEM 版: ¼" VCR 公頭連接
    Pura 傳感器: ½" VCR 公頭連接

    安裝配置

    高級和 OEM 版: 120mm 間距, 通過氣體端口密封
    管道要求零間隙
    2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 對角線 20 x 20mm 間隙
    Pura 傳感器: 適合 ½" VCR 接口

    外形尺寸

    高級版和 OEM 版: 120 x 35 x 150mm (w x d x h)
    Pura 傳感器: 132 x Ø35mm

    重量

    高級版和 OEM 版: 450g
    Pura 傳感器: 180g

    包裝

    Pura 高級版: 雙層包裝和 UHP 惰性氣體密封
    Pura OEM & Pura 傳感器: 單層包裝與 1000 gauge聚乙烯
    所有選項: 單獨裝運,有海綿和紙箱保護
    Pura傳感器表面有防護罩來防止運輸和裝卸時的損壞

    更換服務

    可用Pura 傳感器 (SEN) ½" VCR 連接

    顯示

    高級版在線顯示: PUR-AOL

    在線顯示: PUR-OL

    測量單位

    °F, °Cdp; ppmV 和 ppbV 用戶可選量程和分辨率

    由兩線制傳感器輸入定義的簡單顯示

    二次測量變量

    通過外部傳感器的壓力 0-30 MPa (300 variable barg)
    用戶可以完的全自定義任何行業標準傳感器
    自動補償 ppmV 和 ppbV

    PUR-TX-2W & PUR-IS-2W 沒有管線壓力校正輸入 ppmV

    電源

    通用 85 ~ 265 V AC; 95 ~ 370 V DC

    100~ 240 V AC (+10, -15%) 50/60 Hz

    防護等級

    IP54 (NEMA 12); IP66 (NEMA 4X) 僅適用于帶可選蓋的前面板

    IP65 前面板 (IP20 后面板)

    工作溫度

    0 ~ +50°C

    0 ~ +50°C

    繼電器

    2 個 10 A / 240 V c/o 用戶可完的全配置: 可適應所選設備的所有量程 + 傳感器故障報警功能

    報警 1 繼電器: 單級接觸, 額定 3 A @ 250 V AC
    報警 2 繼電器: 轉換觸點, 額定 5 A @ 250 V AC

    顯示分辨率

    5 位

    4 位

    輸出: 模擬

    4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴展量程

    0-20 或 4-20 mA 用戶可完的全自定義和可擴展量程

    輸出: 數字

    RS232: 提供雙通道通信 -用戶可完的全數字訪問和所有設置選項的可用性

    RS232: 提供雙通道通信 - 用戶可完的全數字訪問和所有設置選項的可用性

    選項

     

     

    電源

    18 ~ 36 V AC; 9 ~ 60 V DC

    24 V DC

    繼電器

    1 或 2 路 5 A 繼電器 (最多 4 路) n/o 類型用戶可完的全自定義: 可適應所有量程 + 全部設備可選 + 傳感器故障報警功能

    1 路繼電器可選 - 參考工廠

    輸出: 模擬

    0-10 V 用戶可完的全自定義和可擴展量程

    0 ~ 10 V 輸出 采用 500 Ω 并聯電阻

    輸出: 數字

    RS485

     

     

     

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