AML英國 AIG1xG Ion Gauges超高真空離子真空計AIG17G 的細節特點

更新時間：2024-04-01

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AML英國 AIG1xG Ion Gauges超高真空離子真空計AIG17G 的細節特點

超高真空離子真空計 AIG1xG離子規

Ultra High Vacuum Ion Gauges

AIG1xG Ion Gauges

AML AIG裸電離真空計是高靈敏度的UHV·貝亞德-阿爾珀特電離真空計，覆蓋

1 x 10的超高真空范圍-3到3 x 10-11毫巴。它們用于電子轟擊脫氣。他們有一

個NW35CF法蘭，帶有單獨的玻璃壓縮密封、封閉端格柵和一種燈絲材料選擇。

概觀

1 x 10的寬UHV測量范圍
-3
到3 x 10
-11
毫巴(millibar壓力單位)
提供可更換的雙鎢、氧化釷或氧化釔涂層燈絲
每個饋通引腳周圍的單個玻璃壓縮密封件比陶瓷更經濟、更堅固，
因此測規頭更便宜、更堅固
中央集電器引腳通過法蘭的接地部分固有地防止漏電流
鉬柵具有封閉端、輕質、剛性結構，因此靈敏度高
收集器上的x射線感應電子解吸電流通過幾何形狀和屏蔽最小化
連接器引腳是鍍金的，屏蔽和極化的
鍍金確保即使在反復烘烤后空氣側也不會發生氧化
電子轟擊脫氣
最高烘烤溫度450℃
氮的靈敏度為每毫巴19
x射線漸近線3 x 10
-11
毫巴(millibar壓力單位)DN40 CF安裝法蘭，NW 35 CF（2.75英寸）
通過無鉛認證

細節

由于裸露鎢的逐漸侵蝕或氧化涂層的損失，燈絲功率在燈絲的使用壽命期間

會發生變化。一般來說，涂有氧化釷的銥絲在壽命中期所需的功率約為鎢的

四分之一。氧化釔具有類似的特性，在正常發射時溫度不到50℃。氧化釔還

具有更好的粘附性，因此壽命更長。涂有氧化物的燈絲在儲存時會吸收水分，

最初可能需要更多的電力來蒸發水分。
燈絲電源必須能夠提供高電流，以在低溫燈絲的低電阻中產生足夠的功率，

并提供足夠的電壓來補償長而熱的電纜中的壓降。功率限制為40瓦的電源能

夠提供高達12伏和高達4安培的電壓，可驅動任何AIG17G真空計在任何條件

下工作（包括在250°C烘烤期間脫氣），并具有AIGL9領的先. AML BA厚度控

制器超過這些要求，并包括全面的燈絲保護功能。
燈絲類型的選擇是一個復雜的問題，很大程度上取決于它們將被使用的真空

環境。以下是基本描述，但并未涵蓋所有情況。
FIL17
鎢絲。這些被廣泛使用，因為它們相對便宜。它們的工作溫度比其他類型高，

因此會蒸發燈絲表面的污染物，從而使探頭工作更加穩定。然而，由于溫度

升高，這種優勢可能會增加周圍表面的除氣作用。鎢不受碳氫化合物和鹵素

的影響，如果存在這些物質，則燈絲也不受影響。鎢絲非常脆弱，在高溫下

暴露在空氣中或機械操作不當時無法存活。
FIL18
涂氧化釷的銥絲。它們在相對較低的溫度（1400°C）下運行，從而減少了除

氣作用和與其他氣體的化學反應。它們被認為是在超高真空區域工作時的首的

選的燈絲。銥在高溫下短時間暴露于高壓下不會燃燒殆盡，因此在突然失去真

空的情況下也不會損壞。
FIL19
氧化釔涂覆的銥絲。一些使用者擔心暴露于釷放射出的阿爾法粒子。氧化釔

涂覆的燈絲具有非常相似的熱離子特性，其行為與氧化釷涂覆的燈絲相同，

但沒有粒子發射。

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超高真空離子真空計 AIG1xG離子規

Ultra High Vacuum Ion Gauges

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