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更新時間：2024-03-19 
瀏覽次數：331WONIK QnC創立于1983年，是一家專門制造和供應生產半導體晶圓所使用的石英部件
和生產半導體及顯示器所使用的陶瓷部件的復合材料零部件專業公司。
ISO 9001, 14001, 27000, 45001
擁有大型三維測量儀(4000x1600)和300mm Zygo干涉儀
擁有原料, 材料, 加工等所有陶瓷生產設備及工藝
ESC, AlN Heater, pBN 高溫 ESC, Pulse Heater, Wafer Table
客戶定制式產品 (設計模擬, 制作, 評估)
通過 Hot press 燒結生產高品質陶瓷材料
ESC repair 技術
超精密表面形狀控制技術
| Item | Unit | AW100H | AS250H | |
|---|---|---|---|---|
| Color | - | Right gray | Black | |
| Relative density | % | ≥ 99.7 | ≥ 99.0 | |
| Dielectric constant (1MHz) | F/m | 10.5 | 11 | |
| Dielectric loss (1MHz) | - | 2 X 10-3 | 2 X 10-3 | |
| Volume resistivity | RT | Ω•cm | 2 X 1016 | 1 X 1016 |
| Bending strength | MPa | ≥ 500 | ≥ 500 | |
| Vickers hardness | HV | ≥ 1800 | ≥ 2100 | |
設計并制造可以快速升溫和冷卻的熱線
通過控制結構制造高密度和高熱導度的
AlN陶瓷燒結體
通過超精密加工技術實現高平坦度和高平行度
| Properties | Single-Zone | Multi-Zone |
|---|---|---|
| Use Temperature (℃) | >400℃ | >400℃ |
| Heating Rate (℃/sec) | 200 | 40 |
| Cooling Rate (℃/sec) | 100 | 10 |
| Thermal Conductivity (W/m·K) | 200 | 200 |
| Uniformity (@400℃) | <3℃ | <10℃ |
| Size (mm) | 12, 16, 22 | 50, 60, 70, 120 |
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