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    技術(shù)文章/ article

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    日本SUGAWARA菅原氙氣閃光燈頻閃儀應(yīng)用于半導(dǎo)體壽命測(cè)試系統(tǒng) MS-230DA

    更新時(shí)間:2024-01-12      瀏覽次數(shù):378


    半導(dǎo)體壽命測(cè)試系統(tǒng)

    硅板的壽命測(cè)試系統(tǒng)
    (日本Napson公司)

    image.png

    在半導(dǎo)體硅板的加工過(guò)程中,越來(lái)越多的制造廠商開始重視對(duì)其壽

    命的測(cè)試,這個(gè)測(cè)試涉及對(duì)金屬雜質(zhì)含量及結(jié)晶瑕疵的判斷和分析。

    因此日本NAPSON公司結(jié)合SUGAWARA的閃頻儀技術(shù),研發(fā)設(shè)計(jì)

    出針對(duì)硅板壽命測(cè)試的專用檢測(cè)設(shè)備。

    壽命測(cè)試是指用氙氣閃光燈對(duì)硅板進(jìn)行短暫照射增加正負(fù)極電子數(shù)

    量,在硅體電子數(shù)量伴隨使用時(shí)間減少后,通過(guò)照射增加到原來(lái)的

    數(shù)量,恢復(fù)到初始狀態(tài)。P型硅晶體通常會(huì)有大量正極電子,而N型

    則是負(fù)極電子偏多,通過(guò)氙氣閃光燈的短暫照射,可以使各自的電

    子數(shù)量恢復(fù)到原始狀態(tài)。

    相關(guān)產(chǎn)品

    多功能分體式氙氣閃頻儀15W系列MS-230DAimage.png

    產(chǎn)品參數(shù)

    型號(hào)MS-230DA
    頻閃范圍60 – 26,500 r/min
    燈泡15 W
    閃光持續(xù)時(shí)間≤6 µs
    功能內(nèi)部觸發(fā),外接信號(hào)同步
    電源AC100 V±10%
    尺寸 (W×H×D)270×170×190 mm
    重量6.8 kg


     




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