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    技術文章/ article
    
        
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    適合曝光裝置的溫度管理 Apiste精密空調(diào)機PAU系列
    
            
    更新時間：2023-12-22      瀏覽次數(shù)：473
    
            
    
            	 
    【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調(diào)機PAU系列
    【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調(diào)機PAU系列
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    只需連接就能簡單地實現(xiàn)精密空調(diào)。自由調(diào)溫包圍的空間的Apiste的精密空調(diào)機PAU系列
    [最的適的合曝光裝置的溫度管理]精密空調(diào)機PAU系列
    在曝光裝置中，為了抑制光掩模的膨脹和收縮，
    你需要供應冷風，以穩(wěn)定溫度。
    PAU機組可實現(xiàn)要求溫度、濕度、清潔度的空氣。

    進行局部空間的空調(diào)的“PAU系列"包括：
    與整體空調(diào)相比，可以抑制能量消耗，更不用說高精度的溫度管理，
    即使對于困難的濕度，也可以根據(jù)需要進行從低濕環(huán)境到潮濕環(huán)境的精密控制。
    此外，通過與風扇過濾器單元的組合，可以輕松實現(xiàn)廣泛的清潔度管理。



    
            
    
         	
                                            
        
    
      
      
    
    
  
    

    

 



    
  
    
    
    
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