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    技術(shù)文章/ article

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    thinksrs殘余氣體分析儀 RGA系列— 100、200和300 amu分析儀

    更新時(shí)間:2023-10-30      瀏覽次數(shù):387

    thinksrs殘余氣體分析儀
    RGA系列— 100、200和300 amu分析儀

    • 100、200和300 amu系統(tǒng)
    • 分辨率優(yōu)于1 amu
    • 6個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)


      單次掃描的范圍
    • 5 x 10

      -14

      托檢測(cè)極限
    • RGA視窗軟件
    • RS-232和以太網(wǎng)接口

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    堅(jiān)固的探頭設(shè)計(jì)

    探針由離子發(fā)生器、四極濾質(zhì)器和檢測(cè)器組成。簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)有少量的零件,最大限度地減少排氣,

    并減少將雜質(zhì)引入真空系統(tǒng)的機(jī)會(huì)。探頭組件堅(jiān)固耐用,安裝在標(biāo)準(zhǔn)2英寸CF法蘭。除了離子發(fā)生

    器之外,它被不銹鋼管覆蓋,離子發(fā)生器在真空系統(tǒng)中只需要2英寸的間隙——大約是標(biāo)準(zhǔn)離子規(guī)

    的間隙。探頭采用自動(dòng)校準(zhǔn)部件設(shè)計(jì),因此在清潔后可以很容易地重新組裝。


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